对话江苏福拉特：半导体湿法设备，国产替代正当时

国产设备能以清洗设备为突破口，让我们在更多细分领域看到“国产力量”。

如今的半导体产业，已经是现代社会不可或缺的重要支柱之一。从计算机、到智能手机，再到人工智能，几乎所有的科技领域都离不开芯片的应用。

正是在这个高度竞争的市场，芯片制造商们一直努力提高芯片的性能，一方面在芯片制程上不断突破物理极限，另一方面在设计、封装等环节研发新的工艺。然而，随着芯片尺寸的不断缩小，微小杂质及污染物对于芯片良率和性能的影响开始变得越来越显著。

而半导体清洗作为贯穿硅片制造、晶圆制造、封装等环节的基础工序，同样开始朝着精细化、专业化的方向发展。

值得一提的是，近年来国产半导体清洗设备不断精进，是半导体设备中国产化率较高的类别之一。

在前不久举办的“2024世界半导体大会”上，镁客网有幸与专攻半导体清洗技术的江苏福拉特自动化设备有限公司（以下简称“福拉特”）进行了一次深度交流。

作为一家提供“一站式”服务的半导体设备供应商，福拉特在国内半导体清洗行业名声渐起，其产品更是打破了国外大厂的垄断。

团队耕耘20年载，专注湿法设备技术突破

根据定义，按照清洗介质不同，半导体清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种工艺路线，其中湿法清洗为当前主流技术路线。

所谓湿法清洗，指的是用液体化学溶剂或无离子水，通过腐蚀、溶解、化学反应等方法，使硅片表面的杂质与溶剂发生化学反应，生成可溶性物质、气体或直接脱落，从而达到清洁硅片的目的。

福拉特告诉镁客网，目前湿法清洗的运用范围非常广泛，不仅在硅片制造、先进封装等常见半导体行业场景里，在泛半导体行业，对于这种清洗技术同样有所需求。

因此，根据使用场景的不同，湿法清洗技术路线又被细分成单片清洗设备、槽式清洗设备、批式旋转喷淋清洗设备和洗刷器等类别，其中单片和槽式清洗设备是目前主流的清洗设备，而福拉特目前在这两条主流路线上均有相关产品推出。

在本次大会上，福拉特带来了公司最新的单片湿法设备以及槽式湿法设备，其产品规格最高支持19nm，是目前国内一流水平。除此以外，福拉特另一大主力产品——药液浓度在线检测仪，可针对多领域使用的药液进行浓度测量、在线检测分析与管理，同样也在业内得到了市场验证以及客户认可。

总的来说，福拉特的优势在于其产品可以覆盖客户的大部分需求；而另一方面，福拉特更是国内少有的“一站式”湿法设备供应商。

据介绍，从行业现状来看，国内大部分企业的清洗主设备和附属设备一般由不同供应商提供，而福拉特可以同时提供硬件以及配套软件。

因此对于客户来讲，无论是前期评估成本、后期运营成本、还是整体采购成本，“一站式采购”都能做到节省大量成本，为企业实现降本增效。

值得一提的是，福拉特2011年于昆山成立，并在2017年成立南京研发制造中心，但在这之前，福拉特的核心团队已经在湿法工艺领域耕耘了20余年左右，积累了相当丰富的经验。

正是凭借对技术的热爱以及市场的敏锐洞察力，福拉特可以轻松满足客户的定制化需求或产品匹配。

最终在口碑的不断积累下，福拉特在业内打响名声。

国产替代正当时，扛起重任

从全球大环境来看，半导体清洗设备市场主要被日本迪恩士、东京电子、细美事和泛林半导体把持，四家公司合计市场占有率达到90%以上，市场格局较为集中。

但由于清洗设备本身占据成本空间并不大，且复杂程度较刻蚀设备、薄膜沉积设备等类别相对较低，因此也是国产化可能性最大的类别之一。

作为国内领先的湿法制程设备供应商，福拉特在近些年的发展历程中，明确了以“中国创造引领半导体显示装备发展”为愿景，并坚持以“科技创新，强大中国半导体显示装备产业”为使命，着眼于攻克行业前沿和卡脖子技术。

据介绍，福拉特在吸纳海外优秀技术的同时，其技术团队也在不断调研国内市场环境。针对国内缺失的技术或环节，福拉特的技术团队持续地进行研发、完善与迭代。最终在应用场景的不断积累与丰富之后，福拉特在技术上已实现国内领先8项、唯一3项、首创3项，其产品也打破了国外厂商的垄断。

而从长期发展目标来看，福拉特除了会继续在湿法设备端耕耘以外，未来还会在材料等环节投入精力，为开拓泛半导体应用场景打好基础。

结语

如今的半导体清洗工艺，几乎贯穿了整个集成电路生产过程。同时，随着线宽不断缩小，对于颗粒和薄膜厚度的控制要求越来越高，半导体清洗工艺的重要性日益凸显，市场逐年扩大。

可以说，以湿法清洗为代表的新技术，保证了芯片产品的性能和良率，可谓“锦上添花“，足以看出该市场的潜能。

另一方面，以福拉特为代表的国产半导体厂商，在技术层面的持续耕耘，为国产替代注入了更多的动力，也为更多企业的发展提供了出色的模板。

相信在不久的未来，国产设备能以清洗设备为突破口，让我们在更多细分领域看到“国产力量”。

最后，记得关注微信公众号：镁客网（im2maker），更多干货在等你！